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技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時(shí)間：2021-01-05
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半導(dǎo)體硅晶片檢測顯微鏡
操作簡便，附件齊全，應(yīng)用于教學(xué)科研金相分析、半導(dǎo)體硅晶片檢測、地址礦物分析、精密工程測量等領(lǐng)域。
高精度粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)
采用底手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，左右側(cè)均可調(diào)節(jié)，微調(diào)精度高，手動(dòng)調(diào)節(jié)簡單方便，用戶輕松得到清晰舒適的圖像。粗調(diào)行程為38mm，微調(diào)精度0.002。
大尺寸機(jī)械移動(dòng)平臺
采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設(shè)置，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中，便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺移動(dòng)的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境
落射柯拉照明系統(tǒng)
采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設(shè)置，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中，便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺移動(dòng)的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境。
技術(shù)規(guī)格：
光學(xué)系統(tǒng) | 有限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) |
觀察筒 | 45°傾斜，三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍:54-75mm，分光比：80:20 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/18mm，可帶測微尺 |
| 高眼點(diǎn)大視野目鏡WF15X/13mm，可帶測微尺 | |
| 高眼點(diǎn)大視野目鏡WF20X/10mm，可帶測微尺 | |
物鏡 | 長工作距平場消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X） |
轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器 |
| 內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器 | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)每轉(zhuǎn)行程38 mm；微調(diào)精度0.02mm |
載物臺 | 三層機(jī)械移動(dòng)平臺，面積180mmX155mm，右手低手位控制，行程：75mm×40mm |
落射照明系統(tǒng) | 落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場光欄，自適應(yīng)寬電壓100V-240V，單顆5W 暖色LED燈，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào) |
| 落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場光欄，自適應(yīng)寬電壓100V-240V，6V30W鹵素?zé)?，光?qiáng)連續(xù)可調(diào) | |
攝影攝像 | 0.5X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；濾色片組；高精度測微尺 |
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